集成电路生产用水的用途及水质要求

类别

用途

水质要求

一般生产用水

1 、一般洗涤用水

符合《生活饮用水卫生标准》（ GB5749-85 ）

2 、动力设备冷却水系统的补充水

3 、制取软化水、纯水的原水

软化水

1 、工艺生产设备冷却水系统的补充水

硬度 <0.1mmol/L

2 、锅炉用补充水

纯水

初级纯水

1 、工艺生产设备冷却水系统的补充水

电阻率 > 0.5M Ω.cm (25 。 )

2 、空调用加湿水

3 、锅炉用补充水

超纯水

1 、硅片清洗

电阻率 > 18M Ω.cm (25 。 ) 等

2 、化学剂配制

工艺生产设备冷却水

设备冷却

电阻率 0.1~ 1 M Ω.cm 经 10μm 过滤